真空鍍膜機的真空腔體----根據(jù)加工產(chǎn)品要求的差異，真空腔體大小也不一樣，目前應用比較多的有直徑0.9M、1.3M、1.5M、1.8M等。腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅實，真空腔體各部分有鏈接閥，用來鏈接各抽氣泵浦。
真空鍍膜機的輔助抽氣系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)為鍍膜真空系統(tǒng)的重要組成部分，機械泵、增壓泵/羅茨泵、擴散泵三大部分組成。這個排氣系統(tǒng)為：擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold。排氣流程：機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴散泵后續(xù)抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動作。
真空鍍膜機的機械原理以及其分類：
機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用很廣的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體體積不斷膨脹從而獲得真空。
一．機械泵的分類：機械泵有很多種，常用的有滑閥式（主要用于大型設備），活塞往復式，定片式和旋片式（此目前運用很廣）
二．機械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數(shù)有極限真空、抽氣速率、此為設計和選用機械泵的重要依據(jù)，單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空，雙級泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2PA，甚至更高。抽氣速率是指旋片泵，按額定轉速運轉時，單位時間內(nèi)所能排出氣體的體積，可用公式計算：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時空腔截面積，L表示空腔長度，系數(shù)表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過程，Vs表示當轉子處于水平位置的時候，吸氣結束，此時空腔內(nèi)的體積較大，轉數(shù)為n。機械泵排氣的效果還與電機的轉數(shù)以及皮帶的松緊度有關，當電機的皮帶比較松，電機轉數(shù)很慢的時候，機械泵的排氣效果也會變差，所以要經(jīng)常保養(yǎng)，點檢，機械泵的密封效果也需要經(jīng)常點檢，由過少，達不到密封效果，泵內(nèi)會漏氣，油過多，把吸氣孔堵塞，無法吸氣和排氣，一般在油位線下0.5厘米即可。
三．機械泵常常被用來抽除干燥的空氣，但不能抽除含氧量過高、有爆炸和腐蝕性的氣體，機械泵一般被用來抽除長久性的氣體，但是對水氣沒有好的效果，所以它不能抽除水氣。旋葉泵中起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等，轉子在定子里面但與定子不同心軸，像兩個內(nèi)切圓，轉子槽內(nèi)裝有兩片彈片，兩片彈片中間裝有彈簧，保證了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。
