如今真空镀膜设备应用十分广泛，是必不可少的一项技术，但是真空镀膜设备在使用一段时间后，表面会留下灰尘影响真空镀膜的整体效果，为了不影响真空镀膜效果，正确处理真空镀膜的灰尘非常重要：

1.设备使用的源材料要符合必要的纯度要求
2.设备样品取出后要注意放置环境的清洁问题
3.真空镀膜一段时间后，真空室内壁必须要清洁处理
4.真空镀膜清洗衬底材料，必须要做到严格合乎工艺要求
5.真空镀膜适当的增加环境的湿度，有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物
6.工作人员在操作时需要戴手套、脚套等，要有专门的服装

由于灰尘对镀膜效果会产生比较大的影响，因此为了避免在真空镀膜设备中留下灰尘，应该在使用中注意以上几点来尽量避免，注意经常清洗，避免灰尘越积越多。