擴(kuò)散泵是一種蒸氣射流泵, 泵油被加熱后產(chǎn)生油蒸汽,油蒸汽從傘形噴嘴高速?lài)姵觯淞魃戏降臍怏w擴(kuò)散到射流內(nèi)并被高速的大分子油蒸汽攜帶到泵壁。由于泵壁溫度較低,油蒸汽接觸到泵壁后會(huì)迅速液化,被攜帶的永久氣體繼續(xù)向下一級(jí)射流擴(kuò)散并被攜帶至更下一級(jí),直至最后被前級(jí)真空泵抽走。一般的擴(kuò)散泵有3到5級(jí)傘形噴嘴,有的擴(kuò)散泵還會(huì)增加一級(jí)側(cè)向的噴射噴嘴,噴射噴嘴可以提高擴(kuò)散泵在較高壓力下工作的能力(抽速和前級(jí)耐壓)。擴(kuò)散泵功耗很大,并且使用時(shí)需要大量的冷卻水,卻還被如此廣泛的使用,主要原因有下面幾點(diǎn):
具有最優(yōu)的抽速/價(jià)格比;
抽速大、可以處理巨大的氣體流量;
沒(méi)有活動(dòng)部件,高可靠、維護(hù)少,壽命長(zhǎng)。